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大型ガラス基板向けバッチ式洗浄装置

最大2,000mm角の大型基板に対応。
基板のエッジを保持する搬送ロボットにより、
各槽に浸漬させて精密洗浄する装置

  • 最大2,000mm角までの大型基板に対応。
  • 基板のコーナー部分のみに接触するメカニカルチャックを採用。
  • 酸性からアルカリ性薬液まで対応可能。(対応薬液についてはご相談ください)
  • 温水引き上げによる乾燥。
  • メンテナンス性に優れた薬液配管室内のレイアウト。
  • 枚葉ウエット処理装置製造における豊富な実績で培った処理ツールを搭載可能。
  • 低価格。
  • 大型基板だけでなく、電子部品やカセットなどの洗浄装置としての実績も豊富。
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