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N2精製機(不活性ガス循環精製機)

密閉容器内で不活性ガスを循環させ、酸素濃度、水分濃度ともに1ppm以下の環境を維持する装置

  • 酸素や水分を嫌うデバイス製造工程に対応する密閉ボックスも併せてご提供。
  • 酸素、水分ともに1ppm以下に抑制。また、水分だけを除去するドライ装置としても 使用可能。
  • 2基の吸着塔を搭載。一方の再生中にもう一方を使用できるため、連続運転が可能。
  • 特殊触媒の採用により、反応塔のメンテナンスフリーを実現。

システムのイメージ図

不活性ガス循環精製機の仕組み

循環精製機の使用分野

循環精製機の使用分野
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