ホーム
>
製品情報
> N2精製機(不活性ガス循環精製機)
酸素や水分を嫌うデバイス製造工程に対応する密閉ボックスも併せてご提供。
酸素、水分ともに1ppm以下に抑制。また、水分だけを除去するドライ装置としても 使用可能。
2基の吸着塔を搭載。一方の再生中にもう一方を使用できるため、連続運転が可能。
特殊触媒の採用により、反応塔のメンテナンスフリーを実現。
システムのイメージ図
循環精製機の使用分野
SCREENフェバックスのサービス
製品や各種サービスに関するお問い合わせは、電話またはメールでお問い合わせください。
電話でのお問い合わせ
メールでのお問い合わせ
N2精製機
(不活性ガス循環精製機)
大型ガラス基板向け
バッチ式洗浄装置
ウエット処理装置
ウェット処理装置
(FOPLP向け)
薬液濃度管理システム
Roll to Roll ウエット処理装置