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ウエット処理装置

基板を搬送しながら洗浄、現像、
エッチングなどのウエットプロセスを処理する装置

  • 第1〜8.5世代(G1〜G8.5)基板向け。
  • 液処理部は、置換性能向上のため傾斜搬送方式を採用。薬液使用量も削減。
  • マグネット搬送により、パーティクルの発生を抑制。
  • 薬液濃度管理システム、生産ライン最適化システム「CrystalFlow」との接続が可能。
  • 現像、エッチング、剥離、洗浄に対応する槽材質を採用。
  • SCREENファインテックソリューションズの装置技術をベースに独自技術を展開。
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