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薬液濃度管理システム

需要が急速に拡大している薄型テレビ。30兆円とも言われるこの市場で勝ち抜くためには、FPD製造工程におけるランニングコストの削減は至上命題となっています。

FEBACSは、このような市場の動向にいち早く対応し、高性能、低価格な薬液コントロールシステムを開発しました。

高価なエッチング液に代表される薬液の濃度を正確に採取し、一定濃度に制御することにより、薬液消費量の削減とプロセスの安定化を実現します。また、廃液量の削減を通して、地球環境汚染の防止に貢献します。
さらに、システムの確立により、FPD業界だけでなく、さまざまな業界におけるニーズにもお応え出来るようになりました。

改造内容と効果

改造内容
  • 処理薬液をサンプリングするための配管を追加。
  • 濃度モニターを設置し、サンプリング液の薬液濃度を測定。
  • 新規に設置するコントローラにより、薬液補充量を制御。
  • 薬液供給ユニットから高濃度の薬液を補充し、濃度をコントロール
    とプロセスの安定化を実現します。また、廃液量の削減を通して、地球環境汚染の防止に貢献します。
効果
  • プロセスの安定化。
  • 薬液交換サイクルの延長。
  • ランニングコストの大幅削減。
  • 廃液量の大幅削減。

システムの特徴

  • 複数台のサンプリングが可能。
  • 異なる薬液の濃度測定が可能。
  • 省スペース設計。

濃度モニターのアプリケーション(滴定方式+吸光度方式タイプ)

滴定方式、吸光度方式、導電率方式、超音波方式 他

仕様用途

LCD & 半導体 Crエッチング 、 Alエッチング 、 ITOエッチング 、
TMAH現像液 、 洗浄(HF、アルカリ液など)、レジスト剥離液など
水晶発信子 フッ酸、バッファードフッ酸
プリント配線板 各種処理液(黒液等)
鉄鋼 酸、アルカリ、鉄、アミンなど
メッキなどの金属表面処理 Ni、Cr、Fe、Cu、Al、Ti、酸
食品 飲料水用PETボトル殺菌剤
排水(環境規制) 六価クロム等

その他、多様な用途に対応できます

システム概要1
システム概要2

薬液コントロール一例

測定結果より、減少する硝酸及び酢酸の必要量を算出し、補充することによりそれぞれの成分濃度を一定に保ちます。

アルミ膜エッチング液の成分濃度変化
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